Produits
Systèmes RTP
Depuis 2004, Annealsys conçoit et fabrique des systèmes RTP (Rapid Thermal Processes), pour la R&D et la production. Depuis 2022, les systèmes Jipelec RTP, fabriqués depuis plus de 40 ans, font partie du portefeuille d’Annealsys. Nos experts en procédés accompagnent nos clients grâce à leur solide expérience et leur expertise pour sélectionner le produit le mieux adapté à leurs besoins.
Annealsys, partenaire de vos applications complexes
Large capacité de température et de vide
Les fours à lampe infrarouge peuvent effectuer des recuits jusqu’à 1450 °C sous atmosphère ou sous vide. Les applications incluent les procédés de recuit thermique rapide (RTA) tels que le recuit par contact ohmique, le recuit d’implantation, etc, ainsi que le dépôt chimique en phase vapeur (RTCVD) de graphène ou de nitrure de bore hexagonal (h-BN).
Ces systèmes RTP polyvalents peuvent traiter des échantillons de quelques millimètres à 200 mm de diamètre, avec un chargement manuel ou une manipulation robotisée de cassette à cassette pour la production, et proposent également des solutions personnalisées pour le traitement de plaquettes de semi-conducteurs compounds avec suscepteurs. Le système Zenith haute température peut fonctionner à 2000 °C pendant une heure.
Gamme RTP
Notre gamme de
Systèmes RTP.
Le bon outil pour vos procédés.
Jipelec Jetlight
Système RTA
2 pouces.
JetLight est un système de recuit thermique rapide de 2 pouces (avec capacité de vide).
AS-Micro
Système RTP
3 pouces.
AS-Micro est un système RTP 3 pouces économique adapté aux laboratoires et aux universités.
AS-One
Systèmes RTP
4 et 6 pouces.
Fours à chambre froide polyvalents pour traitement thermique rapide : versions 4 et 6 pouces.
AS-Premium
RTP 6 pouces
Chauffe double face.
Plateforme RTP multi-configuration pour plaquettes de silicium et compounds semi-conducteurs jusqu’à 150 mm de diamètre.
AS-Master
Système RTP
200mm.
Système à chambre froide RTP de 200 mm pour la R&D et la production. Température jusqu’à 1450 °C et pression 10-6 Torr.
Jipelec Jetfirst
Systèmes RTP
200 et 300mm.
Systèmes RTA de 200 mm et 300 mm avec chambre à paroi froide.
ZENITH Series
Système RTP à 2000°C.
Les systèmes Zenith sont disponibles en deux tailles pour traiter des plaquettes jusqu’à 100 mm ou 200 mm de diamètre à une température allant jusqu’à 2000 °C. Ils ont été spécialement développés pour répondre aux exigences des laboratoires ou de recherche universitaires. Le système dispose d’une chambre refroidie par eau en acier inoxydable. La technologie de la chambre à parois froides offre des avantages significatifs : reproductibilité élevée du processus, faible effet mémoire, vitesses de refroidissement plus élevées.
Certifications et qualifications
Pourquoi choisir
Nos systèmes RTP.
Les systèmes Annealsys RTP (Rapid Thermal Processing) sont choisis par les laboratoires de recherche et les fabricants de semi-conducteurs pour plusieurs raisons techniques et stratégiques.
Flexibilité de procédé
Prise en charge d’un large éventail de procédés : recuit, oxydation, nitruration, diffusion, siliciuration, densification, cristallisation, etc. Compatible avec les environnements de développement à l’échelle de la recherche et les environnements pilotes/de production.
Innovation
Contrôleur de température propriétaire de pointe garantissant des profils de température précis et sans dépassement. Capacité de recuit pulsé pour maintenir le substrat à basse température.
Uniformité & Répétabilité
La conception avancée du chauffage par lampe assure l’uniformité de la température des plaquettes, même sur des substrats de plus grande taille (des petites puces aux plaquettes de 200 mm). Une excellente répétabilité assure une R&D et une fabrication reproductibles.
Fiabilité prouvée & support
Une réputation établie auprès des universités, des centres de recherche et des industries de haute technologie du monde entier. Bénéficiez d’un support technique réactif et d’une expertise des processus.
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Pour toute information complémentaire, nos équipes sont à votre disposition. N’hésitez pas à nous contacter pour en savoir plus sur nos produits et services.