- Systèmes RTP
- Système RTA
Jipelec Jetfirst 300
Système RTA
Concernant ce produit
Applications
Four RTA – Rapid Thermal Annealing
- Recuit thermique rapide (RTA)
- Recuit d’implant
- Recuit de contact ohmique
- Oxydation thermique rapide (RTO)
- Densification et cristallisation
- Diffusion de dopants
Spécifications
Système RTA pour les universités, les centres de R&D et les unités de production à petite échelle.
Le système JetFirst a été spécialement conçu pour répondre aux exigences des universités, des centres de R&D et des unités de production à petite échelle.
La conception du cadre permet une installation facile dans les installations du client.
Le réacteur à chambre JetFirst permet de recevoir des échantillons d’un diamètre allant jusqu’à 12 ». La chambre du réacteur de 12 pouces est conçue et optimisée pour des échantillons de 8 pouces. Concrètement, le traitement des plaquettes de 12 pouces est principalement destiné à des fins de R&D (comme l’échantillonnage de plaquettes de 12 pouces, …).
Le système JetFirst utilise deux capteurs de mesure de température : un pyromètre optique et un thermocouple. Ces capteurs sont fournis en standard avec le système. Le système Jipelec permet de réaliser un étalonnage précis et facile du pyromètre optique pour les échantillons du client.
Notre système PID rapide fournit un contrôle thermique précis et répétable sur toute la gamme de température. De plus, notre logiciel comprend une procédure d’autotuning permettant une définition facile des paramètres PID pour le procédé du client.
Caractéristiques
- Plage de température : ambiante à 1200°C
- Contrôle par thermocouple : de l’ambiante à 1000°C
- Pyromètre de température : 150°C à 1200°C
- Taux de chaleur instantané max : 150°C/s
- Répétabilité de la température : +/- 1°C
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