- Systèmes RTP
- Système RTP économique
AS-Micro
Système RTP économique
Concernant ce produit
Applications
Système RTP économique de 3 pouces pour les laboratoires et l’enseignement. Version double chambre pour éviter les risques de contamination croisée. Interface boîte à gants en option.
L’AS-Micro peut réaliser divers procédés de recuit thermique rapide à pression atmosphérique ou sous vide.
- Recuit thermique rapide (RTA)
- Recuit par implantation
- Recuit par contact ohmique
- Oxydation thermique rapide (RTO)
- Nitruration thermique rapide (RTN)
- Évaporation thermique rapide (RTE)
- Densification et cristallisation
- Diffusion de dopants
Spécifications
L’équipement 3 pouces le plus puissant pour les universités
L’AS-Micro est un processeur thermique rapide 3 pouces compact de table, capable de fonctionner sous vide, dédié aux applications de recherche. Il peut traiter des substrats de quelques millimètres carrés jusqu’à 3 pouces de diamètre ou carré. Des suscepteurs sont disponibles en option pour le maintien de petits échantillons et le traitement de substrats à faible absorption infrarouge.
La chambre de traitement à tubes de quartz, équipée de brides en acier inoxydable et d’un four tubulaire à lampes halogènes infrarouges, permet des procédés jusqu’à 1250 °C avec des rampes de température très rapides (> 250 °C/s). Le régulateur de température de pointe assure un contrôle précis de la température.
La porte à mouvement horizontal avec plateau en quartz facilite l’accès pour le chargement et le déchargement des wafers et l’installation des thermocouples.
Caractéristiques
Le four offre une vitesse de montée en température maximale, jusqu’à 250 °C/s pour les plaquettes de 2 pouces.
- Plage de température : de la température ambiante à 1 250 °C.
- Vitesse de montée en température jusqu’à 250 °C/s sur substrat de silicium de 2 pouces de diamètre, 200 °C/s sur substrat de 3 pouces.
- Capacité de mélange de gaz avec régulateurs de débit massique.
- Plage de vide : de l’atm à 10-2 Torr (10-6 Torr avec pompe turbo en option).
- Contrôle de température par thermocouple avec régulateur de température PID numérique rapide.
- Contrôle par pyromètre en option.
- Contrôle PC complet avec logiciel compatible Windows.
Options
Des options sont disponibles pour les applications à haute température et les applications à vide poussé.
- Contrôle de la température par pyromètre.
- Suscepteurs revêtus de graphite et de carbure de silicium.
- Pompe à vide primaire, pompe turbo.
- Contrôle de la pression en aval avec vanne d’étranglement.
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