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- Fours RTP pour les procédés RTA et CVD
AS-One
Fours RTP pour les procédés RTA et CVD
Concernant ce produit
Applications
Fours à chambre froide polyvalents pour traitement thermique rapide. Deux versions : AS-One 100 pour 100 mm et AS-One Plus pour 150 mm.
L’AS-One est un système RTP polyvalent permettant le développement de procédés de recuit thermique rapide et de dépôt CVD thermique rapide.
- Recuit thermique rapide (RTA)
- Recuit par implantation
- Recuit par contact ohmique (III-V et SiC)
- Oxydation thermique rapide (RTO)
- Nitruration thermique rapide (RTN)
- Sélénisation (cellules solaires CIGS)
- CVD du graphène et du h-BN (nitrure de bore hexagonal)
- Recuit thermique des polymères
Spécifications
Le système AS-One RTP est disponible pour le traitement de substrats de 100 mm ou 150 mm de diamètre.
Le système Annealsys AS-One est disponible avec deux tailles de réacteurs pour traiter des substrats jusqu’à 100 mm (4″) pour l’AS-One 100 ou 150 mm (6″) de diamètre pour l’AS-One Plus. La machine a été spécialement développée pour répondre aux exigences des laboratoires de recherche et de la production à petite échelle. Sa grande fiabilité garantit un faible coût de possession. Sa configuration au sol et son encombrement réduit facilitent l’installation en salle blanche et l’accès pour la maintenance.
Le système AS-One est équipé d’une chambre de traitement à parois froides en acier inoxydable pour une meilleure reproductibilité du procédé et des vitesses de refroidissement plus élevées. La conception spéciale de la chambre de traitement offre un faible volume pour un pompage et une purge rapides, ainsi qu’une faible consommation de gaz de procédé.
Les mesures de température par pyromètre et thermocouple sont standard. Le régulateur PID numérique rapide assure un contrôle thermique précis et répétable sur toute la plage de température.
La conception de type coquille de la chambre de traitement permet un accès complet à la plaque de base et un accès facile pour le chargement et le déchargement des substrats ainsi qu’un nettoyage pratique de la chambre.
Caractéristiques
L’AS-One 100 permet des recuits jusqu’à 1450 °C.
La version haute température de l’AS-One 100 permet des recuits jusqu’à 1450 °C. L’AS-One Plus atteint 1300 °C.
- Plage de température : de la température ambiante à 1450 °C (selon la version)
- Rampe jusqu’à 200 °C/s (selon la version)
- Vitesse de refroidissement jusqu’à 100 °C/s grâce à un système de refroidissement rapide spécial.
- Mélange de gaz avec régulateurs de débit massique.
- Plage de vide : de l’atmosphère à 10-6 Torr.
- Contrôle PC complet avec logiciel compatible Windows.
Options
Le système de refroidissement rapide (en option) permet de quadrupler la vitesse de refroidissement.
- Suscepteurs revêtus de graphite et de carbure de silicium
- Pompe à vide primaire et turbopompe, régulation automatique de la pression avec papillon des gaz
- Système de refroidissement rapide
- Kits de sélénisation
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