- Systèmes RTP
- Four RTP-CVD haute température
Zenith Series
Four RTP-CVD haute température
Concernant ce produit
Applications
Le bon système pour la croissance de monocouche de graphène et le recuit d’implantation thermique rapide de plaquettes de carbure de silicium
- Recuit d’implantation de carbure de silicium
- Graphène par sublimation de SiC à haute température
- Regroupement par étapes
- CVD de graphène
- Recuit à haute température
Spécifications
Le Zenith est un système RTP haute température qui peut exécuter un processus d’une heure à 2000°C.
Les systèmes Zenith sont disponibles en deux tailles : Zenith 100 pour traiter des plaquettes jusqu’à 100 mm de diamètre et Zenith 200 pour traiter des échantillons jusqu’à 200 mm de diamètre à une température allant jusqu’à 2000°C. Ils ont été spécialement conçus pour répondre aux exigences des laboratoires de recherche universitaires.
Le système est doté d’une chambre en acier inoxydable refroidie à l’eau. La technologie de la chambre à paroi froide offre des avantages significatifs : reproductibilité élevée du processus, faible effet de mémoire, vitesses de refroidissement plus élevées.
Les éléments chauffants en tungstène à haute température assurent une meilleure uniformité de la température. Le système n’est pas compatible avec une atmosphère oxydante et l’installation d’une turbopompe est obligatoire.
Les mesures de température par pyromètre et thermocouple sont des caractéristiques standard. Le régulateur de température numérique rapide PID assure une répétabilité élevée et stable de la température (± 1°C). Le système assure un contrôle thermique précis et répétable sur toute la plage de température.
La conception de la chambre de traitement facilite le chargement et le déchargement des substrats et l’installation des thermocouples.
Caractéristiques
Le Zenith a la vitesse de rampe la plus rapide pour le recuit à haute température avec 4°C/s jusqu’à 1800°C.
- Jusqu’à 2000°C
- Vitesse de chauffage : de la température ambiante à 2000°C en 10 minutes
- Vide poussé
- Vide, gaz neutre et atmosphère réductrice
Options
Le Zenith peut recevoir des options pour des capacités de vide plus élevées et des applications CVD.
- Suscepteurs revêtus de graphite et de carbure de silicium
- Pompe à vide primaire et turbopompe
- Contrôle automatique de la pression avec papillon des gaz
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