- Systèmes RTP
- Système RTA 2 pouces
Jipelec Jetlight
Système RTA 2 pouces
Concernant ce produit
Applications
Le JetLight est un système de recuit thermique rapide de 2 pouces sous vide. Il est conçu pour offrir une solution économique aux laboratoires.
- Recuit thermique rapide (RTA)
- Recuit d’implantation
- Recuit par contact ohmique
- Oxydation thermique rapide (RTO)
- Densification et cristallisation
- Diffusion de dopants
Spécifications
Processeur thermique rapide 2 pouces pour les universités
Le JetLight est un processeur thermique rapide compact de table de 2 pouces, capable de fonctionner sous vide, destiné aux applications de recherche. Il peut traiter des substrats de quelques millimètres carrés à 2 pouces de diamètre. Des suscepteurs sont disponibles en option pour le maintien de petits échantillons et le traitement de substrats à faible absorption infrarouge.
La chambre de traitement à tubes de quartz, équipée de brides en acier inoxydable et d’un four à lampes halogènes infrarouges tubulaires, permet des procédés jusqu’à 1000 °C.
La porte à mouvement horizontal avec plateau en quartz facilite le chargement et le déchargement des wafers et l’installation des thermocouples.
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