- Systèmes DLI-CVD
- Système DLI 2 pouces pour laboratoire
MC-050
Système DLI 2 pouces pour laboratoire
Concernant ce produit
Applications
Le MC-050 offre les plus vastes capacités de développement de nouveaux matériaux, notamment les oxydes monométalliques et multi métalliques, ainsi que les dichalcogénures de métaux de transition (TMD) et autres matériaux 2D.
- Oxydes simples et multimétalliques
- Métaux, nitrures et alliages
- Semi-conducteurs III-V à large bande interdite
- Matériaux 2D : graphène, nitrure de bore, MoS₂, WS₂, MoSe₂, WSe₂…
Spécifications
Les vaporisateurs à injection directe de liquide avec chauffage par lampes font du MC-050 une machine unique offrant des capacités multi-processus comparables à celles d’un outil en grappe, mais dans une seule chambre de traitement.
Le système Annealsys MC-050 est un réacteur DLI-CVD / DLI-ALD de 2 pouces, développé pour répondre aux exigences des unités de recherche et développement.
Le four à lampe infrarouge, associé aux vaporisateurs à injection directe de liquide, offre des capacités multi-processus uniques dans la même chambre de traitement : CVD, ALD, MOCVD, RTP et RTCVD.
Les vaporisateurs à injection directe de liquide (DLI) assurent un contrôle parfait du flux de précurseurs et permettent l’utilisation de précurseurs chimiques dilués à faible pression de vapeur. La commutation rapide des flux de vapeur de précurseurs, associée à la vanne de dérivation, assure un contrôle parfait de l’interface pour le dépôt de nanolaminés.
Le MC-050 est la machine idéale pour le développement de nouveaux matériaux et nanolaminés utilisant la plus large gamme de précurseurs organométalliques solides et liquides.
Caractéristiques
Le MC-050 permet des procédés de dépôt chimique en phase vapeur et de dépôt par couches atomiques en utilisant la plus large gamme de précurseurs organométalliques, tout en offrant une capacité de recuit in situ.
- Plage de températures : de la température ambiante à 1 100 °C
- Mélange de gaz avec régulateurs de débit massique
- Jusqu’à 6 vaporisateurs
- Plage de vide : de l’atmosphère à 10-3 torr
- Chargement par boîte à gants en option
- Possibilité de vide poussé en option
Options
Le MC-050 peut être équipé de 6 vaporisateurs à injection directe de liquide et de deux barboteurs pour les précurseurs à haute pression de vapeur.
- Contrôle de température par pyromètre
- Pompe à vide primaire, pompe turbo
- Interface et boîte à gantsPlasma à distance
- Générateur d’ozone
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